厉害了！薄如发丝的抛光片技术勇挑半导体设备“永清智造”大梁

曾主持和参与多项国家重大科研攻关项目、荣获中华人民共和国国务院颁发 “国家科学技术进步二等奖”的永清良晶半导体设备有限公司（以下简称“永清良晶”）总经理万关良，最近摊上一件幸福的“烦恼”：“产品供不应求，客户天天都在催订单。”

作为一家专注于半导体加工设备研制开发与制造公司，永清良晶坚持走填补国内半导体设备空白路线，通过引进、消化、吸收和创新，掌控半导体设备核心技术，最终形成具有自主知识产权的产品。

在半导体行业耕耘几十年的万关良，十分清楚这一行业的发展潜力与挑战，“半导体分为集成电路、光电子器件、分立器件和传感器四类产品。提起半导体，很多人第一印象就是高大上的尖端科技，似乎离我们的生活很远。其实，几乎每个人身边都离不开的集成电路，大到汽车火车飞机、医疗设备，小到手机电脑、空调电视冰箱、小孩玩具以及军用产品，这些智能仪器的中央控制区域基本上都是集成电路做的，集成电路是国家经济和安全命脉。而这么庞大与重要的市场，目前95%以上的产品供给都来自外资，每年中国进口集成电路所花掉的钱高达2000多亿美金，是第一大宗的进口商品。据世界半导体贸易统计协会（WSTS）统计：2017年世界半导体市场规模为4086.91亿美元，同比增长20.6%，首破4000亿美元大关，创七年以来的新高。”

不仅如此，很多高端装备、设备，即使有钱也买不到。“国外一台先进的光刻机，国内出价上亿美元，人家也不卖。日本产的机器设备订单已经排到2020年，日本产品代理商成为众多半导体企业眼中的香饽饽。”万关良说，“以抛光片衬底为例，国内目前需求量在每月80万片，到2020年每月需求量预计达200万片。目前国内只有每月20万片的产量。”

小编了解到，为解决这一困境，近年来，在国内集成电路产业持续快速发展的带动下，国内半导体设备业呈现出高增长的势头。在国家科技重大专项02专项和各级地方政府科技创新专项的大力支持下，多种先进制造设备开始替代进口设备，在国内集成电路大生产线上运行和使用。

这一千载良机，万关良自然不会错过。经过数年栉风沐雨，他们出产的高端设备，能将抛光片的加工精度控制在0.2微米左右，也就是一根头发丝的三百分之一，目前国内还没有企业能够做到。“对我们这个行业而言，抛光片就是原材料。合格的抛光片生产不出来，后续生产就如同无米之炊。”万关良说，“我们目前每年可以生产3台套抛光生产线，一条生产线可以做出5万件抛光片。”

掌握尖端科技的万关良，一直在谋求更大的发展空间。经过多方考量，万关良将目光放在了永清产业新城。“京台高速开通后，从北京到永清的时间大大缩短。同时，永清产业新城周边拥有京津、京沪、京石、津保、大广5大高速，交通十分便利。而且距北京新机场仅15公里，这对我们与武汉、上海、成都等国内及国外客户往来洽谈，也十分便捷。永清产业新城得天独厚的区位优势，很适合我们的发展需求。”

去年12月入驻永清产业新城的万关良如今还有一个新的期盼，“从目前订单来看，1400平米的厂区还是有点小了。期待永清产业新城二期尽早开工，让我们获得更大的发展空间。”